掃描電鏡有多項(xiàng)性能和技術(shù)指標(biāo)，例如：分辨率、放大倍率誤差、低倍畸變、束流穩(wěn)定性、樣品污染率、真空度、換樣品抽真空時(shí)間、開機(jī)到工作抽真空時(shí)間、樣品臺位移距離等，這些均有量化指標(biāo)。其中，掃描電鏡的分辨率、放大倍數(shù)等參數(shù)又是選購參考的重要點(diǎn)。

sem掃描電鏡分辨率重要性

分辨率是掃描電鏡很重要指標(biāo)，它反映了儀器的綜合性能。各種類型的掃描電鏡分辨率不同，導(dǎo)致了儀器進(jìn)入做微觀領(lǐng)域的尺度有差異，這也是不同檔次掃描電鏡的賣點(diǎn)。用戶很關(guān)心這個(gè)指標(biāo)是否符合要求。對于廠家工程師來說，拍攝分辨率照片也是一項(xiàng)技術(shù)挑戰(zhàn)，要把掃描電鏡各個(gè)環(huán)節(jié)調(diào)整到很好的狀態(tài)，選用幾乎苛刻的操作條件，反復(fù)拍照，直到拿出滿意照片為止。

影響掃描電鏡分辨率因素：電子源，燈絲是電子源的提供者，也是掃描電鏡很重要的部件，燈絲所發(fā)射電子的密度、束斑尺寸、能量分布將決定性影響掃描電鏡的分辨率。

1、鎢燈絲

鎢燈絲具有結(jié)構(gòu)簡單、束流大、真空要求低、易更換等優(yōu)點(diǎn)，但是由于其束流密度小、信噪比差、化學(xué)穩(wěn)定性差、且使用壽命短(80-100h)，因此，在使用過程中需要高頻率的更換燈絲，以確保掃描電鏡保持較為穩(wěn)定的分辨率。

 2、CeB6燈絲

CeB6燈絲亮度為1000A/cm2，是鎢燈絲亮度的10倍，因此具有更高的分辨率。CeB6燈絲具有更好的抗干擾能力，工作溫度為1800K，遠(yuǎn)低于鎢燈絲工作溫度(2800K)，燈絲揮發(fā)量相對較小，因此使用壽命基本都可達(dá)到1500h，如果再加以規(guī)范管理，使用壽命可進(jìn)一步延長。

上述內(nèi)容就是小編介紹的影響掃描電鏡分辨率的因素。更多關(guān)于sem掃描電鏡的問題也可以留言或是電話咨詢小編，下期分享內(nèi)容再見