1、柵極光闌：電子槍偏壓主要加在柵極帽上，而且柵極光闌尺寸和形狀對(duì)于電子源的尺寸形狀乃至亮度都有影響。因?yàn)殒u燈絲電子槍燈絲溫度一般為2000℃以上，而且距離柵極光闌高度不超過(guò)150微米，所以柵極光闌采用耐高溫的鉭材料制成孔徑為500μm的ZX對(duì)稱(chēng)的圓形。由于偏壓的存在，高能電子束不接觸光闌。一般清洗只需要用氨水和酒精，氧化鎢沉積污染。柵極光闌對(duì)中一般采用機(jī)械對(duì)中，即電子槍乃至高壓電纜整體移動(dòng)。

2、陽(yáng)極光闌和聚光鏡光闌：從電子源發(fā)射的電子束，幾乎都可以通過(guò)陽(yáng)極光闌，進(jìn)入電磁聚光鏡，電子束經(jīng)過(guò)聚光鏡聚光后，通過(guò)聚光鏡光闌，進(jìn)入物鏡。陽(yáng)極光闌在正常情況下，受到的電子轟擊一般不是很?chē)?yán)重因此壽命較長(zhǎng);聚光鏡因?yàn)槭菑?qiáng)激勵(lì)，焦距很短，因此轟擊在聚光鏡光闌上的電流密度較小壽命也較長(zhǎng)。這兩個(gè)光闌孔設(shè)計(jì)為300μm。能夠很好滿(mǎn)足電子光學(xué)高分辨需要。

光闌對(duì)中：通常這兩個(gè)光闌安裝在一個(gè)真空密封襯管的兩端，通過(guò)零件的機(jī)械精度進(jìn)行定位。

3、物鏡光闌：末級(jí)光闌和工作距離共同決定作用在樣品上的孔徑角，大多數(shù)掃描電鏡的物鏡光闌，設(shè)置多個(gè)孔徑，在鏡筒外通過(guò)光闌桿可以調(diào)節(jié)。大多在光闌桿上排列安裝3-4個(gè)光闌，孔徑多為200μm，150μm、100μm、50μm。

光闌越小，孔徑角度越小，景深越大。光闌越小，降低了透鏡像差的影響，Z小電子束斑尺寸越小。光闌越小，Z終束斑電流越小。與電子束高斯斑直徑無(wú)關(guān)。

物鏡光闌對(duì)中：

①手動(dòng)對(duì)中：所有操作均為手動(dòng);

②搖擺對(duì)中：物鏡聚焦采用搖擺器自動(dòng)在一定小范圍內(nèi)，反復(fù)連續(xù)改變焦距。

SEM掃描電鏡所有光闌的對(duì)中目的都是避免軸外電子聚焦形成不良電子斑，尤其物鏡光闌，如合軸不良，將會(huì)產(chǎn)生巨大象散，以及受到更大像差的影響。很大程度降低掃描電鏡的分辨率。如果光闌孔變得不圓，那么相當(dāng)于軸外電子進(jìn)入電磁透鏡聚焦，這些電子將不會(huì)和大多數(shù)電子一樣聚焦在高斯平面，如果經(jīng)過(guò)多次清洗后的光闌，使用效果無(wú)法接受，只能更換。