SEM掃描電鏡操作步驟:從開機到結(jié)果分析
日期:2024-05-14 09:26:08 瀏覽次數(shù):74
掃描電鏡的操作步驟從開機到結(jié)果分析可以大致分為以下幾個步驟:
一、開機準(zhǔn)備
檢查電源、冷卻水、真空泵等設(shè)備的連接是否正常,確認電壓穩(wěn)定且符合設(shè)備要求。
確保SEM掃描電鏡的工作環(huán)境清潔無塵,以避免灰塵對樣品和設(shè)備的污染。
在電鏡基座的前面板上,接通電源后,先按紅鈕使電鏡通電,然后按黃鈕讓真空系統(tǒng)工作,整機處于待機狀態(tài)。約30秒后按綠鈕,所有系統(tǒng)開始工作,同時計算機自動啟動,注冊進入系統(tǒng)。
二、樣品制備與放置
根據(jù)不同的樣品類型和觀察需求,進行樣品的制備。這可能包括清潔、切割、鍍金屬膜等步驟。對于易卷曲的樣品,需要采取特殊的固定方法,如固定在濾紙或卡片紙上,以充分暴露待觀察的組織表面。
將制備好的樣品放置在樣品臺上,并放入掃描電鏡的樣品室中,然后關(guān)閉樣品室門。
三、抽真空
使用真空泵抽取樣品室內(nèi)的空氣,確保樣品室內(nèi)的真空環(huán)境。真空度的要求根據(jù)具體設(shè)備而定,一般需要達到一定的真空度才能進行后續(xù)操作。
四、開機與調(diào)整
雙擊軟件并登錄系統(tǒng)。
選擇加速電壓(EHT)并開啟電子槍,此時熒光屏上應(yīng)出現(xiàn)圖像。
將亮度固定在50%,調(diào)節(jié)襯度使圖像亮暗合適。在低倍率下聚焦圖像。
檢查燈絲飽和與電子槍合軸,選擇樣品感興趣部位,將圖像放大到5000x以上調(diào)焦。如果需要,進行物鏡光闌合軸,并消像散。調(diào)整圖像亮度和襯度。
五、圖像記錄
記錄所需的圖像以供后續(xù)分析。
六、圖像處理與分析
對SEM掃描電鏡圖片進行預(yù)處理,以增強圖像的清晰度,提高分析的準(zhǔn)確性。這些處理可能包括噪聲去除、對比度增強、圖像銳化等。
完成預(yù)處理后,利用各種圖像分析方法對掃描電鏡圖片進行深度解讀。例如,對于形貌分析,可以通過測量圖片中的顆粒大小、形狀、分布等信息,來了解樣品的表面形貌特征。此外,如果結(jié)合能譜分析(EDS)等技術(shù),還可以對圖片中的元素成分進行分析,了解樣品的化學(xué)成分。
在分析過程中,可能會使用到一些專業(yè)的圖像分析軟件,如ImageJ、Fiji等。這些軟件提供了豐富的圖像處理和分析工具,可以滿足大多數(shù)的分析需求。
七、結(jié)果輸出
將分析結(jié)果以報告或圖表的形式輸出,供后續(xù)研究或參考。
以上就是從開機到結(jié)果分析的SEM掃描電鏡的基本操作步驟。請注意,具體操作可能因設(shè)備型號和具體需求而有所不同,建議參考設(shè)備的使用手冊或咨詢專業(yè)人士。
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