sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察方法它可以直接利用樣品表面材料的材料特性進(jìn)行顯微成像。放大倍數(shù)較高，可連續(xù)調(diào)整20至20萬倍;景深大，視野大，成像立體感強(qiáng)可直接觀察各種樣品不均勻表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);試樣制備簡單。

影響掃描電鏡的分辨率的主要因素有:

入射電子束光斑直徑:SEM掃描電鏡分辨能力一般來說，熱陰級(jí)電子槍的束斑直徑可以減小到6nm，場發(fā)射電子槍可以使束斑直徑小于3nm。

入射電子束在樣品中的膨脹效應(yīng)：擴(kuò)散程度取決于入射電子的能量和樣品的原子序數(shù)束流能量越高，樣品的原子序數(shù)越小，電子束的相互作用體積越大，信號(hào)產(chǎn)牛區(qū)域隨電子束的擴(kuò)散而增大，從而降低了分辨率。

使用的成像方式和調(diào)制信號(hào):當(dāng)二次電子作為調(diào)制信號(hào)時(shí)，由于其能量低，平均自由程短只有表面50-100nm范圍內(nèi)的二次電子才能從樣品表面逸出，散射次數(shù)非常有限基本上不向側(cè)面延伸，所以二次電子像的分辨率大約等于束斑直徑。當(dāng)后向散射電子作為調(diào)制信號(hào)時(shí)，由于其能量高，穿透性強(qiáng)，可以從樣品較深的區(qū)域洮逸(約為有效效應(yīng)的30%深度)。在深度范圍內(nèi)，入射電子橫向擴(kuò)展，因此背散射電子像的分辨率比二次電子像的分辨率低，一般在500-2000nm左右。如果將吸收電子，X射線，陰級(jí)發(fā)光，束流誘導(dǎo)電導(dǎo)或電位作為調(diào)制信號(hào)的其他工作模式，由于信號(hào)來自整個(gè)電子束散射區(qū)，因此獲得的掃描圖像的分辨率相對(duì)較低，一般在1000納米或10000納米以上之間。

景深是指焦點(diǎn)前后的距離范圍該范圍內(nèi)所有物體所形成的圖像均滿足分辨率要求;也就是說景深是一個(gè)清晰可見的距離范圍。sem掃描電鏡的視場深度是透射電子顯微鏡的10倍，是光學(xué)顯微鏡的數(shù)百倍。由于圖像景深較大，得到的掃描電子圖像具有很強(qiáng)的三維感。

上述4點(diǎn)內(nèi)容就是小編介紹的影響掃描電鏡分辨率的4個(gè)因素。對(duì)于掃描電鏡還有什么其他的問題，您可以網(wǎng)站直接留言或是直接撥打4001-123-022進(jìn)行咨詢。下期關(guān)于掃描電鏡的內(nèi)容再見！